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第六十八章 光谱探测中超宽带增透膜

  • 分类:工艺讲堂
  • 作者:工艺部研发中心
  • 来源:凯发一触即发
  • 宣布时间:2024-10-07
  • 会见量:1000

【提要描述】本期主要针对光谱探测中的超宽带增透膜进行研究 ,通过对混淆质料特性的研究 ,优化了SiO和MgF2的共蒸发速率 ,获得了与Si质料相匹配的折射率 ,同时降低了相应波段的吸收峰 。接纳先预镀10nm的 SiO质料 ,然后进行共蒸发可以实现对两种质料混淆比例准确控制 ,同时调解充气量控制真空度稳定 。制备的超宽带增透膜膜在1300nm~3400nm平均光谱透过率为96.7% ,可是与理论设计相比仍然有所下降 ,如何进一步提高光谱透过率并减少在2600~2900nm波段的吸收是下一步研究的重点 。

第六十八章 光谱探测中超宽带增透膜

【提要描述】本期主要针对光谱探测中的超宽带增透膜进行研究 ,通过对混淆质料特性的研究 ,优化了SiO和MgF2的共蒸发速率 ,获得了与Si质料相匹配的折射率 ,同时降低了相应波段的吸收峰 。接纳先预镀10nm的 SiO质料 ,然后进行共蒸发可以实现对两种质料混淆比例准确控制 ,同时调解充气量控制真空度稳定 。制备的超宽带增透膜膜在1300nm~3400nm平均光谱透过率为96.7% ,可是与理论设计相比仍然有所下降 ,如何进一步提高光谱透过率并减少在2600~2900nm波段的吸收是下一步研究的重点 。

  • 分类:工艺讲堂
  • 作者:工艺部研发中心
  • 来源:凯发一触即发
  • 宣布时间:2024-10-07
  • 会见量:1000
详情

本期主要分享团队乐成研制光谱探测中超宽带增透膜的实例 ,以供各人参考 。

1.质料选择及膜系结构设计

2.薄膜的制备

3.测试与剖析

4.总结

要害词:

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