第六十七章 红外探测器滤光膜的研究与制备
- 分类：工艺讲堂
- 作者：工艺研发中心
- 来源：凯发一触即发
- 宣布时间：2024-09-02
- 会见量：1000
【提要描述】本期主要针对红外探测器滤光膜进行研究，接纳电子束蒸发和离子辅助沉积技术，通过对ZnS和YbF3光学特性的研究，以及对工艺参数如烘烤温度、离子源、膜厚控制等参数的优化，解决了蓝宝石基底上膜层牢固性及1.6~1.7μm之间的平均透过略高等问题。经测试薄膜能够蒙受卑劣事情情况的考验，基本满足了探测器的使用要求。
第六十七章 红外探测器滤光膜的研究与制备
【提要描述】本期主要针对红外探测器滤光膜进行研究，接纳电子束蒸发和离子辅助沉积技术，通过对ZnS和YbF3光学特性的研究，以及对工艺参数如烘烤温度、离子源、膜厚控制等参数的优化，解决了蓝宝石基底上膜层牢固性及1.6~1.7μm之间的平均透过略高等问题。经测试薄膜能够蒙受卑劣事情情况的考验，基本满足了探测器的使用要求。
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本期主要分享团队乐成研制红外探测器滤光膜的实例，以供各人参考。
1.质料选择及膜系结构设计
2.薄膜的制备
3.测试与剖析
4.总结
要害词：
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