GTV-1800光学真空镀膜机
产品描述
GTV系列光学真空镀膜设备可用于滤光片、通例AR-玻璃、通例AR-树脂类等膜产品的量产。
设备特点：
· 腔体尺寸φ600-φ2700mm
· 60点间接光学厚度监视器或直接光控
· 高离子流密度射频离子源
· 双电子枪 ，多点和环型坩埚可镀100层以上
· ACS全自动镀膜控制系统实现全自动镀膜历程
· 工件架可选择球伞式、行星式或翻转式
· 排气系统低真空泵组+高真空泵组+深冷
| 真空腔室尺寸 | SUS304 φ1800mmx1900mm（H） |
| 工件盘有效镀膜尺寸 | φ1223mm |
| 基板回转速度 | 3r/min-30r/min(可变) |
| 光学膜厚监控 |
间接监控（反射式） 波长规模：350nm-1100nm 监控点数量：60位 直接监控 波长规模：350nm-1100nm |
| 晶振膜厚仪 | XTC-3+6点晶控 |
| 蒸起源 | E型电子枪2套 |
| 离子源 | GTRF23 |
| 真空排气 | 机械泵+分子泵/低温泵/+深冷捕集泵 |
| 极限真空 | 8.0x10-5Pa |
| 排气时间 | 大气-3.0x10-3Pa/12min/常温空载 |
| 基板温度 | 最高350℃ |
| 空间要求 | 约2.7m（宽）x4.6m（深）x2.7m（高） |
| 电源要求 | 3相4线380v50Hz、约70kw |
| 冷却水要求 | 160L/min、0.2-0.4MPa、18-25℃ |
| 压缩空气 | 0.6MPa |
| 设备重量 | 约12000kg |
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