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第六十五章 红外探测器光学系统滤光膜的研制

  • 分类:工艺讲堂
  • 作者:工艺研发中心
  • 来源:凯发一触即发
  • 宣布时间:2024-07-26
  • 会见量:1000

【提要描述】 本文通过薄膜理论,综合考虑了多种薄膜质料的性能以及差别膜料组合对工艺要求的严格度,最终选择Si和YbF3设计出切合要求的膜系。在实际的镀制历程中,优化了多种工艺参数,减小了累积误差,滤光膜的光学性能获得了显著改善。从丈量结果可以看出,1064nm处的透射率为91.5%,为了更进一步提高红外光学系统中探测器的灵敏度,如何提高1064nm处的透射率是以后研究的偏向。

第六十五章 红外探测器光学系统滤光膜的研制

【提要描述】 本文通过薄膜理论,综合考虑了多种薄膜质料的性能以及差别膜料组合对工艺要求的严格度,最终选择Si和YbF3设计出切合要求的膜系。在实际的镀制历程中,优化了多种工艺参数,减小了累积误差,滤光膜的光学性能获得了显著改善。从丈量结果可以看出,1064nm处的透射率为91.5%,为了更进一步提高红外光学系统中探测器的灵敏度,如何提高1064nm处的透射率是以后研究的偏向。

  • 分类:工艺讲堂
  • 作者:工艺研发中心
  • 来源:凯发一触即发
  • 宣布时间:2024-07-26
  • 会见量:1000
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本期主要分享团队乐成研制红外探测器光学系统滤光膜的实例,以供各人参考。

1. 质料选择及膜系结构设计

 

 

2. 薄膜的制备

3. 结果与剖析

4. 总结

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